A Novel Al2O3-Based Semiconductor Gas Sensor for CO and CH4 Detection

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chensiyao159

【摘要】

：

<正>A new type of semiconductor gas sensor fabricated on an alumina substrate for CO and CH_4 detection has been developed.The alumina substrate was obtained by

【作者】

：

Yanbing Xue Zhenan Tang Guangf

【机构】

：

DeptofElectronicEngineering,NortheastTransducerResearchInstitute

【出处】

：

稀有金属材料与工程

【发表日期】

：

2006年A03期

【基金项目】

：

Acknowledgement： The authors would like to thank the financial support of S863 project （No.2003AA404180）

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<正>A new type of semiconductor gas sensor fabricated on an alumina substrate for CO and CH_4 detection has been developed.The alumina substrate was obtained by an anodizing method companying with micromachining to form patterned structure.Gas sensit

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