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期刊论文
环境气氛对射频溅射镀膜的影响
环境气氛对射频溅射镀膜的影响
来源 :机械科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mysqlfalse
【摘 要】
:
综合考虑宏观条件对射频溅射镀膜过程的影响,采用等离子鞘层理论、理想气体理论、蒙特卡罗法,模拟在真空气压、气体流量、电压、温度等等参数综合作用后离子的能量、方向、分布
【作 者】
:
崔虎
刘正堂
宋文燕
孙金池
李阳平
【机 构】
:
西北工业大学材料学院
【出 处】
:
机械科学与技术
【发表日期】
:
2006年5期
【关键词】
:
射频溅射
等离子体
鞘层
computer simulation
sputtering
sheath
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综合考虑宏观条件对射频溅射镀膜过程的影响,采用等离子鞘层理论、理想气体理论、蒙特卡罗法,模拟在真空气压、气体流量、电压、温度等等参数综合作用后离子的能量、方向、分布等。相应实验验证结果与模拟结果较为一致,因此,可以认为目前的结论足以作为进一步模拟的条件。
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