基于放电概率检测的硅晶体电火花线切割加工伺服控制研究

来源 :电加工与模具 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yyx19870907
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针对往复走丝电火花线切割加工硅晶体时,无法准确判别其极间加工状态、伺服进给速度不能实时响应加工状态变化的问题,提出了一种基于放电概率检测的采样方法,设计并搭建了硅晶体电火花线切割加工伺服控制系统。通过工艺验证证明该伺服控制系统能显著提高硅晶体电火花线切割加工的表面质量、效率及形状精度。
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