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期刊论文
CCD曲线拟合数据处理系统
CCD曲线拟合数据处理系统
来源 :天津轻工业学院学报 | 被引量 : 1次 | 上传用户:ribb5619
【摘 要】
:
提出了一种利用平滑滤波、曲线拟合处理CCD数据的方法。经此方法处理后,测量精度不再受CCD光敏元尺寸的限制,从而大大提高了测量精度。本方法应用于“激光衍射法微孔径测量仪”中,其测量精度≤±0.5μm。
【作 者】
:
赵志武
白瑞林
【机 构】
:
天津轻工业学院,天津轻工业学院
【出 处】
:
天津轻工业学院学报
【发表日期】
:
1991年02期
【关键词】
:
CCD
曲线拟合
数据处理
CCD
curve-fitting
data- smoothing
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提出了一种利用平滑滤波、曲线拟合处理CCD数据的方法。经此方法处理后,测量精度不再受CCD光敏元尺寸的限制,从而大大提高了测量精度。本方法应用于“激光衍射法微孔径测量仪”中,其测量精度≤±0.5μm。
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