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离子束增强沉积TiN薄膜及其界面的结构研究
离子束增强沉积TiN薄膜及其界面的结构研究
来源 :自然科学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:oucuifang
【摘 要】
:
利用分析电子显微术的方法研究了离子束增强沉积的Si基TiN薄脱及其与基体间过渡区的结构,发现在TiN薄膜和基体间存在约50nm厚的非晶Si过渡层,含微量Ti和N,TiN薄膜的晶粒尺寸
【作 者】
:
程志英
朱静
柳襄怀
王曦
杨根庆
【机 构】
:
冶金部钢铁研究总院,中国科学院上海冶金研究所离子束开放实验室
【出 处】
:
自然科学进展
【发表日期】
:
1994年2期
【关键词】
:
离子束
增强沉积
TIN薄膜
界面结构
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利用分析电子显微术的方法研究了离子束增强沉积的Si基TiN薄脱及其与基体间过渡区的结构,发现在TiN薄膜和基体间存在约50nm厚的非晶Si过渡层,含微量Ti和N,TiN薄膜的晶粒尺寸均匀,小于10nm.
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