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本文讨论了光刻模拟的有关模型,提出了一种适用于VLSI光刻工艺模拟的程序FUPLIS,给出了用FUPLIS对若干光刻工艺进行模拟的结果,模拟结果对光刻工艺的理解和指导有重要作用.
适用于VLSI的光刻模型及模拟的若干研究
【摘 要】
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本文讨论了光刻模拟的有关模型,提出了一种适用于VLSI光刻工艺模拟的程序FUPLIS,给出了用FUPLIS对若干光刻工艺进行模拟的结果,模拟结果对光刻工艺的理解和指导有重要作用.
【机 构】
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复旦大学,复旦大学
【出 处】
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应用科学学报
【发表日期】
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1989年2期
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