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为了提高氮等离子体浸没离子注入Ti-6Al-4V合金时氮原子的峰值深度,利用钇来增加氮在基体中的注入深度和扩散深度,先用20kV的电压进行钇等离子体浸没离子注入处理,然后用30kV的电压进行氮等离子体浸没离子注入处理。俄歇能谱测试表明氮原子的峰值深度有明显提高,注钇时间为30min的试件,氮原子的峰值深度从50nm上升到100nm。摩擦性能式表明处理后试件的抗磨损能力大大提高。