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制备GaN基材料的数值模拟研究进展
制备GaN基材料的数值模拟研究进展
来源 :云南师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:electron999
【摘 要】
:
综述了紫外探测器的实际应用,特别介绍了紫外预警系统的作用原理;详细介绍了GaN基材料及其生长方法;对MOCVD法制备GaN基材料的过程做了详细描述,特别介绍了国内外MOCVD系统制
【作 者】
:
丁祥
许玲
高文峰
刘滔
林文贤
【机 构】
:
云南师范大学太阳能研究所
【出 处】
:
云南师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2012年1期
【关键词】
:
紫外探测器
GAN
金属有机物化学气相淀积
数值模拟
Ultraviolet Photodetectors GaN MOCVD Numerical Simula
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综述了紫外探测器的实际应用,特别介绍了紫外预警系统的作用原理;详细介绍了GaN基材料及其生长方法;对MOCVD法制备GaN基材料的过程做了详细描述,特别介绍了国内外MOCVD系统制备GaN基材料的数值模拟方法。
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