三极碳纳米管场发射显示屏的制作研究

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利用碳纳米管作为阴极材料的场致发射显示屏是一种新型的平板器件。介绍了三极结构碳纳米管场致发射显示屏的工作原理,基本结构以及寻址方式。重点讨论了在制作器件方面所存在的真空封装问题,荧光粉制作问题以及绝缘隔离层问题。在提出一种新型结构栅极制作工艺的基础上,成功地制作了三极碳纳米管场发射显示屏器件。 The field emission display using carbon nanotubes as a cathode material is a new type of flat panel device. The working principle, basic structure and addressing mode of the field emission display of three-pole carbon nanotube are introduced. Focusing on the issues of vacuum packaging, phosphor fabrication, and insulation barrier issues in fabrication of devices. On the basis of a novel structure gate fabrication process, a three-polar carbon nanotube field emission display device was successfully fabricated.
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