A Hybrid Silicon-PDMS Micropump Actuated by PZT Bimorph

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dbsoldier

【摘要】

：

<正>The fabrication and characterization of a hybrid Silicon-PDMS micropump based on MEMS technology is presented. The micropump consists of one chamber,two pas

【作者】

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Haining Wang Dafu Cui Zhaoxin

【机构】

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StateKeyLab.ofTransducerTech.

【出处】

：

稀有金属材料与工程

【发表日期】

：

2006年A03期

【基金项目】

：

Acknowledgements： The authors greatly acknowledge the financial support from the National Science Foundation of China （Grant number 20299030, 60427001 and 60501020）.

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<正>The fabrication and characterization of a hybrid Silicon-PDMS micropump based on MEMS technology is presented. The micropump consists of one chamber,two passive valves and one PDMS diaphragm.A PZT bimorph working as the actuator is mounted on the

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