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设计了一种以较高速度合成金刚石薄膜的装置。这种装置是在阴极和阳极间用甲烷氢气及氩气产生高密度等离子体射流。等离子体射流以高速度喷射于被冷却的基底上,从而形成金刚石薄膜。
直流电弧等离子体喷射法制备金刚石薄膜
【摘 要】
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设计了一种以较高速度合成金刚石薄膜的装置。这种装置是在阴极和阳极间用甲烷氢气及氩气产生高密度等离子体射流。等离子体射流以高速度喷射于被冷却的基底上,从而形成金刚
【出 处】
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北京理工大学学报
【发表日期】
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1991年2期
【基金项目】
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国家新材料专家委员会(NAMCC)资助项目
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