【摘 要】
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本文论述了马赫-泽德(Mach-Zehnder)影象剪切系统的基本原理、结构组成以及存在的缺陷;介绍了偏光分象剪切系统,并对它的主要构件做了较深入的研究。作为微细尺寸测量并用于
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本文论述了马赫-泽德(Mach-Zehnder)影象剪切系统的基本原理、结构组成以及存在的缺陷;介绍了偏光分象剪切系统,并对它的主要构件做了较深入的研究。作为微细尺寸测量并用于日常大量的检测工作中,这是一种能够实现快速和获得很高精度的可靠方法。
This paper discusses the Mach-Zehnder image shear system’s basic principle, structure and defects. Introduces the polarization-independent shear system, and makes a deep study of its main components. This is a reliable method for achieving fast and high accuracy as a measurement of fine dimensions and for routinely extensive inspection efforts.
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