【摘 要】
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<正> 一、概述 微电子机械系统(Micro-Electron—Mechanical—System缩写为MEMS)是在微电子工艺基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。它涉及电子工程、机械工程、材料
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<正> 一、概述 微电子机械系统(Micro-Electron—Mechanical—System缩写为MEMS)是在微电子工艺基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。它涉及电子工程、机械工程、材料工程、信息工程、物理学、化学、光学、医学及生物学等学科和技术。 微电子机械从广义上是指集微型机构、微型传感器、微型执行机构及信号处理和控制电路,直到接口、通讯和电源等于一体的微型机电一体化产品。这里的微电子机械产品是指可以批量制造的、几何尺寸不超过1cm~3的制品,最小体积的远期攻坚目标是微米～纳
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