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TSMC与荷兰艾司摩尔（ASML）公司于2月22日共同宣布，TSMC将取得ASML公司TWINSCANTMNXE：3100一超紫外光（Extreme Ultra—Violet，EUV）微影设备，是全球六个取得这项设备的客户伙伴之一。
TSMC取得艾司摩尔超紫外光微影设备以研发新世代工艺
【摘 要】
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TSMC与荷兰艾司摩尔（ASML）公司于2月22日共同宣布，TSMC将取得ASML公司TWINSCANTMNXE：3100一超紫外光（Extreme Ultra—Violet，EUV）微影设备，是全球六个取得这项设备的客户伙伴之一。
【机 构】
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本刊通讯员
【出 处】
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电子与封装
【发表日期】
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2010年3期
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