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采用金属蒸汽真空弧(MEVVA)离子源发出的强束流脉冲钨离子,对H13钢进行了离子注入表面改性研究。借助X射线光电子能谱仪(XPS)考察了注入表面层中钨、氧、铁的化学状态。研究发现,钨离子注入层中钨元素以替位钨和三氧化钨形式存在,铁元素以金属铁和三氧化二铁形式出现,而且各价态元素的原子比随深度而变化。