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采用金属蒸气真空弧离子源,研究了1Cr18Ni9Ti不锈钢基体上注入W和Co的摩擦磨损行为的影响.结果表明:W、Co注入层硬度比未注入样品......
我们采用离子注入的方法对ZnO体单晶进行掺杂。本文初步研究了V族离子(P,As,Sb)注入ZnO的性质。为了得到均匀的掺杂层。我们使用SR......
本文初步研究了V族离子(P,As,Sb)注入ZnO单晶的性质。为了得到均匀的掺杂层,我们首先使用SRIM软件进行了模拟计算,确定了注入的能......
采用金属蒸汽真空弧(MEVVA)离子源发出的强束流脉冲钨离子,对H13钢进行了离子注入表面改性研究。借助X射线光电子能谱仪(XPS)考察了注入......
本文分析了非均匀掺杂衬底MOS电容对线性扫描电压的瞬态响应,提出了饱和电容法测量非均匀掺杂MOS电容少子产生寿命空间分布的方法.......
采用由金属蒸气真空弧(MEVVA)离子源引出的强束流脉冲钨离子对Hl3钢进行了离子注入表面改性研究.借助掠面X射线衍射(GXRD)和X射线......
<正> 硬度是指材料抵抗外物压入其表面的能力,是反映材料自身特性的重要机械性能之一。由于材料的硬度与材料的使用性能及加工性能......
集成电路制造技术中,传统的光学临近效应修正都是基于平坦化衬底的。针对离子注入层的包括有源区、浅槽隔离区和栅极的复杂结构,一......