【摘 要】
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总结了薄膜应力的一些测量方法。分析了利用测量基片弯曲曲率变形分析法的理论依据及其测量原理,计算了激光干涉法,激光束偏转法的测量精度,分析了其优缺点。
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总结了薄膜应力的一些测量方法。分析了利用测量基片弯曲曲率变形分析法的理论依据及其测量原理,计算了激光干涉法,激光束偏转法的测量精度,分析了其优缺点。
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