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总结了薄膜应力的一些测量方法。分析了利用测量基片弯曲曲率变形分析法的理论依据及其测量原理，计算了激光干涉法，激光束偏转法的测量精度，分析了其优缺点。
基片变形法测量薄膜应力分析
【摘 要】
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总结了薄膜应力的一些测量方法。分析了利用测量基片弯曲曲率变形分析法的理论依据及其测量原理，计算了激光干涉法，激光束偏转法的测量精度，分析了其优缺点。
【机 构】
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扬州职业大学
【出 处】
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扬州教育学院学报
【发表日期】
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2009年3期
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