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微流量泵与微流量传感器的系统集成
微流量泵与微流量传感器的系统集成
来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ilfang456
【摘 要】
:
介绍了一种实现微流量泵与微流量传感器系统集成的方法,该方法利用双金属驱动微流量泵驱动结构的特点,在微泵双金属驱动单晶硅膜上集成制作微流量传感器,使驱动单元既有驱动功能
【作 者】
:
庞江涛
战长青
【机 构】
:
清华大学微电子学研究所
【出 处】
:
功能材料与器件学报
【发表日期】
:
1998年2期
【关键词】
:
微流量泵
微流量传感器
系统集成
微机械
Micropump
Driving structure
Microflow sensor
Integrated
【基金项目】
:
到国家攀登计划B支持
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介绍了一种实现微流量泵与微流量传感器系统集成的方法,该方法利用双金属驱动微流量泵驱动结构的特点,在微泵双金属驱动单晶硅膜上集成制作微流量传感器,使驱动单元既有驱动功能又有流量检测功能,为进一步实现微流量控制系统奠定了基础。
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