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为了研究常用间隔层材料的软X射线多层膜的材料设计，利用Livermore实验室提供的软x射线多层膜设计程序进行模拟计算，得到了软x射线波段内的具有高反射率的膜系。结果表明，Mo在相当大的波段范围内具有良好的光学特性。除了在12.44nm是首选膜系外，除4.36nm外，其它波长都有较高的反射率。U作为吸收层材料，在相当大的波段范围内，与其它间隔层材料配对的多层膜也具有较高的反射率，对多层膜膜系的材料选择有一定的指导意义。