【摘 要】
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恒压式气体微流量计是校准气体微流量的一种装置，校准范围为（１７．１～１×１０－５）Ｐａ·Ｌ／ｓ，不确定度小于２％，可采用直接测量法和比较测量法对标准漏孔进行校准。文章介绍恒压式气体微流量计的设计方法和结构
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恒压式气体微流量计是校准气体微流量的一种装置，校准范围为（１７．１～１×１０－５）Ｐａ·Ｌ／ｓ，不确定度小于２％，可采用直接测量法和比较测量法对标准漏孔进行校准。文章介绍恒压式气体微流量计的设计方法和结构参数的选择。
Constant pressure gas micro-flow meter is a device to calibrate gas micro-flow, the calibration range is (17.1 ~ 1 × 10-5) Pa · L / s, the uncertainty is less than 2%, direct measurement and Compare the standard leak calibration method. The article introduces the design method of constant pressure gas micro-flowmeter and the choice of structure parameters.
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