离子束增强沉积Al—N共掺杂ZnO薄膜的制备

来源 :江苏工业学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：whp6356

【摘要】

：

用Al2O3粉体与ZnO粉体均匀混合,压制成溅射靶.在Si和SiO2/Si 衬底上,用离子束增强沉积(IBED)方法对沉积膜作Ar+/N+注入,制备Al-N共掺杂氧化锌薄膜(ANZO).在氮气氛中作适当的

【作者】

：

谢建生李金华袁宁一陈汉松周懿

【机构】

：

江苏工业学院

【出处】

：

江苏工业学院学报

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

氧化锌薄膜退火离子束增强沉积 ZnO film t annealing t ion beam enhanced deposition

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用Al2O3粉体与ZnO粉体均匀混合,压制成溅射靶.在Si和SiO2/Si 衬底上,用离子束增强沉积(IBED)方法对沉积膜作Ar+/N+注入,制备Al-N共掺杂氧化锌薄膜(ANZO).在氮气氛中作适当的退火,可以方便地获得取向单一、结构致密、性能良好的共掺杂ZnO薄膜.探索用IBED方法在Si和SiO2衬底上制备优质掺杂薄膜的可能性.初步研究了ANZO共掺杂薄膜的结构、电学和光学性能.

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