硅-硅直接键合制造静电感应器件

来源 :电力电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yzmxfyzm
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
静电感应器件(Static Induction Device,SID)栅源击穿电压VGK不高一直是该类器件研制中存在的一个问题.用SI/SI键合技术代替高阻厚外延工艺,制造出一种不同于外延掩埋栅结构的掩埋栅结构--键合掩埋栅结构,从制造工艺和器件结构上提高了VGKo通过SITH器件的研制,证明了键合掩埋栅结构能够提高VGK和整个器件的电学性能.
其他文献
在日益动荡的市场环境中,公司必须培养和保持适应快速变化的市场的能力。管理者可以运用拼组(patching)战略流程重新组合业务版图以把握变化无常的市场机遇,为公司创造经济价值
日本铁路技术研究所近期开发了一种新型定位系统,可控制摆式列车及时倾斜。日本铁路技术研究所研制的定位系统采用新型卫星定位技术(简称GPS),它提供的定位精确与现有的常规系统
越来越多的企业已经认识到物流管理的重要性,把物流管理提到一个较高的层次,绝大多数的企业却忽略了逆向物流这样一个一直存在的物流活动。为了有效实施逆向物流管理,本文在分析
中国金融博物馆完整保存了一张1911年5月20日发行的湖广铁路债券。这张债券面值20英镑,年息5厘,九五折实付,期限40年。
铁路作为一种地面轨道交通方式,对国民经济的发展起着极其重要作用。由于其运输能力大、费用低、污染小、可全天候运行等特点,适应了科学发展的需要,必然成为我国运输的主力
期刊
青藏铁路建设面临多年冻土、高寒缺氧、生态脆弱"三大难题"的严峻挑战,工程极为艰巨.在党中央、国务院、铁道部的直接关怀下,参建人员通过三年多深入研究探索,攻克"三大难题"
如何让顾客更满意,是所有现代企业共同关注的一个问题。在21世纪的竞争中,谁赢得顾客的倾心和同报,谁就能生存和发展。顾客的倾心与回报如何,又取决于企业使他们的满意程度怎样:因
主要分析比较了常用的3种新型中压变频器主电路结构,并对这3种电路结构的中压变频器用的器件数量、均压问题、谐波含量、dv/dt、系统效率和可靠性进行了讨论,最后对这3种电路
《国防动员法》是全面规范和指导我国国防动员活动的重要法律。这部法以宪法为依据,系统总结了我国国防动员建设的实践经验,参考借鉴了国外动员工作有益做法,广泛吸收了社会各界
法国阿尔斯通公司最近研制成功最新一代,即第四代Pendolino摆式列车——ETR600型摆式列车。该型列车,由于改进了设计,使车厢内部具有更大的空间,并且提高了列车的可靠性,乘客