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用掩模分离方法或薄膜刻蚀方法制作出多波段微型滤光片列阵，交过类微型焦平面色散元件与列阵探测器结合，构成光谱可识别列阵探测器，报道了3通道短波红外滤光片列阵的设计和制作，以及4元3通道光谱可识别探测器的研制。
3通道短波红外光谱可识别列阵探测器的研制
【摘 要】
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用掩模分离方法或薄膜刻蚀方法制作出多波段微型滤光片列阵，交过类微型焦平面色散元件与列阵探测器结合，构成光谱可识别列阵探测器，报道了3通道短波红外滤光片列阵的设计和制作，
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所
【出 处】
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红外与毫米波学报
【发表日期】
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1994年6期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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