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期刊论文
MOS晶体管技术
MOS晶体管技术
来源 :国外电子元器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户:guochang704
【摘 要】
:
简要回顾MOS晶体管一些具有代表性的技术进展,分析了其在将来超大规模集成电路(ULSI)应用中的主要限制。从材料以及器件结构两个方向分别阐述了突破现有MOS技术而最有希望被将来
【作 者】
:
牛宏亮
张云娟
【机 构】
:
西安铁路职业技术学院
【出 处】
:
国外电子元器件
【发表日期】
:
2008年7期
【关键词】
:
晶体管
高介电常数材料
器件结构
集成电路
transistor
high dielectric constant materials
device str
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简要回顾MOS晶体管一些具有代表性的技术进展,分析了其在将来超大规模集成电路(ULSI)应用中的主要限制。从材料以及器件结构两个方向分别阐述了突破现有MOS技术而最有希望被将来ULSI工业所采用的新型晶体管技术。
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