新型MEMS摆动式微电磁驱动器研制

来源 :中国机械工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：a0701302

【摘要】

：

设计开发了一种新型MEMS摆动式微电磁驱动器,介绍了新型微驱动器的设计、制造工艺和性能.新型微驱动器采用多线圈多磁极结构,具有较大的驱动力矩,并且位置重复精度较高.用非

【作者】

：

贾书海李以贵杨春生赵小林丁桂甫张琛蔡炳初

【机构】

：

上海交通大学微纳米科学与技术研究院

【出处】

：

中国机械工程

【发表日期】

：

2003年12期

【关键词】

：

微机电系统微电磁驱动器微细加工光开关 micro-electro-mechanical system (MEMS)electromagnetic micr

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设计开发了一种新型MEMS摆动式微电磁驱动器,介绍了新型微驱动器的设计、制造工艺和性能.新型微驱动器采用多线圈多磁极结构,具有较大的驱动力矩,并且位置重复精度较高.用非硅的微细加工工艺制造了微驱动器的定子线圈,微摆盘的充磁采用了自制的磁极写入装置.这种微驱动器具有良好的实用性,目前已成功应用于光纤通讯开关中.

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