【摘 要】
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对目前新出现的几种高精度微变位致动器的性能特点进行了分析，介绍了它们在高新技术领域，特别是在微纳技术领域中的应用。
The performance characteristics of several new h
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对目前新出现的几种高精度微变位致动器的性能特点进行了分析，介绍了它们在高新技术领域，特别是在微纳技术领域中的应用。
The performance characteristics of several new high precision microvariable actuators that are emerging now are analyzed, and their applications in high-tech fields, especially in the field of micro-nano technology are introduced.
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