【摘 要】
:
文章提出了一种大位移低驱动电压的MEMS静电梳齿驱动器,对器件进行了设计、模拟、制作以及测试。梳齿驱动器的侧向不稳定性即侧向吸合现象限制了梳齿驱动器的最大驱动位移,发现
【机 构】
:
传感技术联合国家重点实验室,中国科学院研究生院
【基金项目】
:
上海市教委科研创新项目(项目编号:08LZ142);上海高校选拔培养优秀青年教师科研专项基金(批准号:B01601);上海市重点学科建设项目(项目编号:P1303)资助
论文部分内容阅读
文章提出了一种大位移低驱动电压的MEMS静电梳齿驱动器,对器件进行了设计、模拟、制作以及测试。梳齿驱动器的侧向不稳定性即侧向吸合现象限制了梳齿驱动器的最大驱动位移,发现侧向稳定因子S,随支撑梁刚度比ky/kx以及梳齿间隙g的增加而增加,随梳齿交叠长度的增加而减小;而驱动器的驱动电压随梳齿间隙的增加而升高。在以上研究的基础上,提出了一种采用小间隙无初始交叠、长度线性递增梳齿结构和高缈横向刚度比的预弯曲支撑梁结构的梳齿驱动器。器件测试结果表明,驱动电压71V时,可以达到100μm的驱动位移,进一步测试表明,驱
其他文献
后基因时代,探索和解释隐藏在分子生物学数据库中的有用信息将是对生物信息学研究人员的巨大挑战!为了解决分子生物学中遇到的这些难题,有效及廉价的方法是非常必要的。机器学
长期以来,常州市公共交通集团公司坚持打造“人民满意的现代化和谐公交”为目标,以标准化建设和科技进步为重要抓手,建立了与现代企业治理结构相匹配的管理体制和机制。在此基础
语文学科是蕴含丰富内涵的学科,也是散发着迷人光彩的学科。高中语文教师作为带领学生不断领略语文迷人魅力的引导者,如何挖掘语文的内涵,凸显语文的风采对于学生的语文情感
<正>在网络、多媒体技术盛行的今天,信息技术的影响已经与各个方面密不可分。作为一门古老的学科——语文来说,就不可避免的受到些许的冲击。因为根据语文自身的特点,加上我
以水稻品系T-43为供试材料,采用不同种子处理和不同播种深度进行种植。结果表明,浸种后播种有利于出苗,浸种并播种深度≤2 cm产量最高。产量相关性分析表明:总变异的贡献是种
信息技术飞速发展,深刻地影响着教育教学工作,信息技术成为一座架设在教师与学生之间的不可替代的桥梁。信息技术作为教育信息化条件下的重要的发展因素,受到了广泛的关注,从
贵州省蕴藏有比较丰富的伴生金属锗的氧化锌矿资源,本试验将主要研究采用硫酸渗滤浸出技术直接处理该矿物,主要研究了液固比、硫酸酸度及浸出时间对锌浸出率的影响。结果显示:最
<正>虚拟经营类游戏一直是很多朋友的最爱,今天笔者介绍一款虚拟经营类游戏,让那些想开蛋糕店的朋友过足瘾,它就是——梦幻蛋糕店。游戏融合卡通作为Walt Disney旗下力作,这
目的:比较单管喉罩、双管喉罩和气管插管在妇科腹腔镜术中的呼吸指标和并发症发生率。方法:120例妇科腹腔镜手术患者分为单管喉罩、双管喉罩和气管插管组,观察三组患者插管完毕
<正>熟悉处理器的用户肯定听说过摩尔定律,在半导体行业飞速发展的年代它就是科技进步的切实体现。但是与半导体市场和用户需求一同升温的还有处理器温度与功耗,最终由于种种