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传统的摩擦焊接以块材为研究对象,本实验利用改进的超声摩擦焊接(UFW)技术对20-25μm厚的Al-Al薄膜进行连接。采用白光干涉仪、光学显微镜及扫描电镜对单体Al薄膜和连接成型组件中的Al薄膜进行了表面粗糙度、厚度一致性和界面分析。结果表明,利用UFW可实现微米量级Al薄膜间的精密连接。同时,利用改进的UFW一次成型获得了一种高质量的双台阶Al-Al薄膜器件。