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大口径光学系统高精度对心方法的研究
大口径光学系统高精度对心方法的研究
来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ming968
【摘 要】
:
介绍一种大口径光学系统各分立元件的对心方法,它利用干涉的原理,对心精度可达1μm。
【作 者】
:
叶露
【机 构】
:
中国科学院长春光机所
【出 处】
:
光学精密工程
【发表日期】
:
1998年3期
【关键词】
:
光学系统
对心方法
高精度
大口径
Interference
Polarization
Alignement
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介绍一种大口径光学系统各分立元件的对心方法,它利用干涉的原理,对心精度可达1μm。
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