【摘 要】
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研究了在氩氧气氛下近空间升华沉积CdTe的技术．发展了在表面十分平整的玻璃衬底上沉积优质CdTe薄膜的方法，对比了在玻璃衬底和CdS薄膜上CdTe薄膜的结构特征．通过研究氧分压对CdT
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划资助项目(批准号:2001AA513010)~~
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研究了在氩氧气氛下近空间升华沉积CdTe的技术．发展了在表面十分平整的玻璃衬底上沉积优质CdTe薄膜的方法，对比了在玻璃衬底和CdS薄膜上CdTe薄膜的结构特征．通过研究氧分压对CdTe薄膜择优取向的影响，证实了在恰当的近空间升华沉积过程中，两种衬底上的CdTe薄膜具有相同的结构．研究了玻璃衬底上CdTe薄膜的电学与光学性质，观察了后处理对上述薄膜性质的影响，并研制出了效率达13．38％的小面积CdTe薄膜太阳电池．
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