激光纳米尺度先进加工技术

来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dickui

【摘要】

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综述了激光-扫描探针显微镜(Laser-SPM )纳米尺度加工先进技术及激光纳米结构先进加工技术。 The advanced technology of laser-scanning probe microscope (Laser-SPM) na

【作者】

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黄英奇程兆谷谌巍赵全忠高海军柴雄良

【机构】

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泉州师范学院物理系,中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所福建 36

【出处】

：

激光与光电子学进展

【发表日期】

：

2003年07期

【关键词】

：

激光纳米技术扫描探针显微镜先进加工技术

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综述了激光-扫描探针显微镜(Laser-SPM )纳米尺度加工先进技术及激光纳米结构先进加工技术。 The advanced technology of laser-scanning probe microscope (Laser-SPM) nanoscale processing and the advanced processing technology of laser nanostructure are reviewed.

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