中芯国际将明导国际caljbre产品认证为其DFM签核参考平台

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近日,明导国际宣布中芯国际已经将明导国际Calibre产品认证为其65nm和更小制程的可制造性设计签核参考平台。参考流程涵盖了CalibreDFM所能提供的全部组件,包括:用于光刻检验的CalibreLFD产品;用于平面仿真的Calibre CMPAnalyrzer产品;用于关键区域分析和仿真的Calibre Yield Analyrzer产品;以及用于自动DFM布线改进的带有SmartFill的Calibre Yield Enhancer产品,其中包括了高度优化平面性填充。
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