High Quality SiGe Layer Deposited by a New Ultrahigh Vacuum Chemical Vapor Deposition System

来源 :材料科学技术学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：danNyZ

【摘要】

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一超离频真空化学药品蒸汽免职(UHV/CVD ) 系统被开发，它的构造和操作的细节被报导。用高纯净 SiH4 和 GeH4 反应物气体， Si0.82Ge0.18 层在 550 ℃被扔。与由两倍水晶 X 光检

【作者】

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Guangli LUO Xiaofeng LIN

【机构】

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TsingHuaUniv

【出处】

：

材料科学技术学报：英文版

【发表日期】

：

2000年1期

【基金项目】

：

Motorola Corporation

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一超离频真空化学药品蒸汽免职(UHV/CVD ) 系统被开发，它的构造和操作的细节被报导。用高纯净 SiH4 和 GeH4 反应物气体， Si0.82Ge0.18 层在 550 ℃被扔。与由两倍水晶 X 光检查衍射(DCXRD ) 的大小，传播电子显微镜学(TEM ) 和卢 backscattering spectroscppy (RBS ) 技术， SiGe 层的水晶的质量好，这被显示出，并且内在的 SiGe/Si 异种接口严厉地被定义。

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