【摘 要】
：
AZ15nXT is a chemically-amplified negative-tone thick film photoresist.The resist has vertical profile and is widely used for redistribution layer(RDL)and thr
【机 构】
：
AZ Electronic Materials USA Corp.(A Subsidiary of Merck KGaA,Darmstadt,Germany),
论文部分内容阅读
AZ15nXT is a chemically-amplified negative-tone thick film photoresist.The resist has vertical profile and is widely used for redistribution layer(RDL)and through silicon vias(TSV)applications.For lift-off applications,however,the inverted profile is needed.In this paper,we report the effects of process conditions on the resist profile and process window for lift off applications.
AZ15nXT is a chemically-amplified negative-tone thick film photoresist. Resist has vertical profile and is widely used for redistribution layers (RDL) and through silicon vias (TSV) applications. FOR lift-off applications, however, the inverted profile is needed. this paper, we report the effects of process conditions on the resist profile and process window for lift off applications.
其他文献
自本世纪60年代以来,一些工业发达国家频于能源紧张,开始了新能源特别是再生能源的研究,其中,海洋再生能更是列入重要研究课题。海洋再生能主要包括:海流、海浪、潮汐、温差
大洋板块的俯冲消减形成了各种弧状构造,而这些构造之所以成为弧形的原田,长期以来存在着多种解释。本文从地球球面和俯冲板块之间的几何关系(主要是俯冲角的大小和海沟形态
本文提出了一个新的非线性脉搏波在动脉内传播的理论模型,推导了一个新的血管壁-外周组织系统的非线性运动方程组,在其中仅含血管壁和流体的应力以及血管的非线性几何。这组
目的:探讨螺旋CT扫描检查对胃肠道间质瘤(GIST)的诊断价值。方法:选择我院拟诊的GIST 21例,均在术前行16排螺旋CT扫描,再对术后病理或免疫组化检查证实的病例进行对照分析。
本文利用一个等距、跳点、隐式的总能量守恒型差分方案,对渤海冬季环流进行数值研究。计算结果和海上观测的一致性是令人满意的,对于渤海冬季环流的形成机制和黄海暖流余脉的
多年来,学术界一直认为中全新世时期为冰后期(全新世)气候最温暖时期,特称之为“适宜期”或者“高温期”(Optimum,altithermal,hypsithermal);与此同时,还认为在“高温期”
以石油管道套管用Mn合金为研究对象,对其失效位置的宏观和微观形貌、化学成分和力学性能等进行试验研究,分析石油管道套管用Mn合金的失效原因。结果表明,过载开裂是无缝管管
连云港新建吹泥站工程为淤泥质海滩演变提供了研究实例。观测表明,波浪是造成淤泥质岸滩冲刷的主要动力,而潮流的扩散是泥沙运移的主要动力。海滩演变主要发生在经常性破波作
用电感耦合等离子体原子发射光谱法(ICP-AES)测定铬铁中铬磷硅存在的问题是一些高碳铬铁、氮化铬铁等试样难以用酸溶解,在碱熔基体中,大量的易电离元素钠的存在使得测定困难,
按照以往的招生办法,在应届高中生中已经招不到符合飞行员身体条件的合格高中生。青少年体质健康不容乐观我国对青少年学生体质健康大规模的持续研究始于1985年,那年由教育部