【摘 要】
：
硅通孔(TSV)技术作为实现三维(3D)封装的关键而被广泛关注。该文研究了在温度载荷作用下TSV转接板上铜和硅的应力状态,给出了通孔为完全填充铜和部分填充铜两种情况下的应力
【机 构】
：
北京工业大学机械工程与应用电子技术学院,中国科学院微电子研究所,复旦大学材料系,
论文部分内容阅读
硅通孔(TSV)技术作为实现三维(3D)封装的关键而被广泛关注。该文研究了在温度载荷作用下TSV转接板上铜和硅的应力状态,给出了通孔为完全填充铜和部分填充铜两种情况下的应力解析解,并讨论了孔距对转接板应力的影响。建立了TSV转接板的二维有限元模型,并用于验证解析解的适用性。结果表明:当TSV孔距达到孔直径的3倍以上时,解析解可以给出准确的转接板上铜和硅的应力结果;通过减薄镀铜层可以减小硅上的应力;转接板上应力与加载的温度变化成线性关系。
其他文献
“金秋送爽、丹桂飘香”。2017年13—15日,来自全国各地新闻出版业的代表齐聚美丽仙林、百年南大,共话新闻出版智库创新发展,共议现代出版业未来走向,共铸建言献策机制,共享
机床箱体零件多数孔都是齿轮传动轴支承孔。按JB179-83渐开线圆柱齿轮精度规定:当测量类似图1所示工件Ⅰ、Ⅱ轴线平行度误差时,应在直角坐标系XOY中进行。但实际检测时、由于
传统的离心血泵是有其弱点的:直接的马达驱动方式容易在轴承密封处发生感染,采用闭合的磁耦合驱动方式时颈轴又使血液退化。但有一种带章动(而非转动)推进器的离心泵,即所谓
The presence of meperidine and its metabolites in The hair of meperidine addicts was investigated using GC/MS (EI, PCI). Meperidine and its three metabolites-n
本文首先介绍了作者推导的中心轮与行星轮,行星轮与内齿轮滑动系数及其最大值的计算公式.并根据齿轮传动磨损计算的原理,分析了中心轮、行星轮和内齿轮的磨损情况,给出了齿厚
我科自2000年以来采用鼻内镜治疗鼻腔鼻窦内翻性乳头状瘤(nasal inverted papilloma,NIP),现将资料完整、随访1年以上的15例病例报告如下:资料与方法一、临床资料15例中,男1
五、蜗轮齿面方程式 蜗轮齿面方程式在S_2中,以∑_2表示之。根据包络法原理,有∑_2:
Fifth, the worm gear surface equation worm gear surface equation in S_2, to Σ_2
4例患儿均为4～8岁的男孩,因误食曼陀罗果实后3小时入院。症状为口干,皮肤及颜面发红并有红疹、干燥无汗,惊恐、烦躁,瞳孔散大,伴有尿潴留,呕吐、腹疼,并出现谵妄、幻视幻听、
关于单位制度,近年在世界各国的应用中发生很大变化,即由以前的不同的单位制向新的国际单位制方面统一。本书全部采用国际单位,并在例题中国际单位与重力单位并列,是为了从读
NBA的夏天看上去虽然歌舞升平,但却经常蕴藏着潜流暗涌。在成功地结束了第63个赛季之后,新一轮的劳资纠纷又被搬上桌面,时隔四年之后,球员工会再一次成为主角。
Although th