【摘 要】
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提出一种适应高频工作状态的压电薄膜泵结构，初步分析了所采用的锥形阀的工作原理与作用，设计了试验泵结构，加工了样机，通过试验证明了锥形阀的有效性，为进一步的研究打下了基础。
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提出一种适应高频工作状态的压电薄膜泵结构，初步分析了所采用的锥形阀的工作原理与作用，设计了试验泵结构，加工了样机，通过试验证明了锥形阀的有效性，为进一步的研究打下了基础。
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