【摘 要】
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开展了动态气体锁抑制率的实验研究，设计了一套极紫外真空动态气体锁实验验证系统；进行了真空抽气系统的详细设计，形成了具有实际可操作性的真空系统的最终布局；指出了该实验验证系统的验证方法；进行了动态气体锁实验，并对实验结果进行了分析，验证了动态气体锁理论模型和仿真结果的正确性。实验研究结果表明，当污染气体放气率恒定时，增加清洁气体总流量将使动态气体锁抑制率逐步增加；同等条件下动态气体锁抑制率不随污染气体放气率的改变而改变；当清洁气体总流量和污染气体放气率都恒定时，动态气体锁抑制率随清洁气体相对分子质量的增加而
【机 构】
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中国科学院光电研究院北京100094北京市准分子激光工程技术研究中心北京100094
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开展了动态气体锁抑制率的实验研究，设计了一套极紫外真空动态气体锁实验验证系统；进行了真空抽气系统的详细设计，形成了具有实际可操作性的真空系统的最终布局；指出了该实验验证系统的验证方法；进行了动态气体锁实验，并对实验结果进行了分析，验证了动态气体锁理论模型和仿真结果的正确性。实验研究结果表明，当污染气体放气率恒定时，增加清洁气体总流量将使动态气体锁抑制率逐步增加；同等条件下动态气体锁抑制率不随污染气体放气率的改变而改变；当清洁气体总流量和污染气体放气率都恒定时，动态气体锁抑制率随清洁气体相对分子质量的增加而缓慢增加。该动态气体锁抑制率实验研究结果，能够为极紫外光刻机动态气体锁的研制提供实验依据。
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