【摘 要】
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针对温度影响压阻式加速度传感器精确性和可靠性等问题，文中从压阻式加速度传感器的原理出发，结合公式推导解释其产生温漂的原因；通过高低温实验分别探究温度对压阻式单轴、三轴加速度传感器的影响，并对实验数据进行最小二乘曲线拟合，得出其变化关系式。依据变化关系式设计以FPGA为主控芯片的温度补偿电路，使用VHDL语言为系统编程并计算出其补偿值；然后对传感器进行温度补偿实验。结果表明：传感器的零位输出电压经差
【机 构】
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中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
【基金项目】
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山西省装备预研重点实验室基金（61420010402001）；
论文部分内容阅读
针对温度影响压阻式加速度传感器精确性和可靠性等问题，文中从压阻式加速度传感器的原理出发，结合公式推导解释其产生温漂的原因；通过高低温实验分别探究温度对压阻式单轴、三轴加速度传感器的影响，并对实验数据进行最小二乘曲线拟合，得出其变化关系式。依据变化关系式设计以FPGA为主控芯片的温度补偿电路，使用VHDL语言为系统编程并计算出其补偿值；然后对传感器进行温度补偿实验。结果表明：传感器的零位输出电压经差分放大后与基准电压较接近；补偿后，压阻式加速度传感器的温漂得到极大的改善，其精确性和可靠性得到提高，可满足外场试验的需要。
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