【摘 要】
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溅射靶材的利用率低,导致其成本高.以自制的纳米晶镍钴锌/二氧化硅复合铁氧体粉体为原料,冷等静压后高温烧结制备成磁控溅射复合靶材.用XRD和SEM分析靶材的物相成分和微观形
【机 构】
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江苏大学材料科学与工程学院,江苏大学微纳米科学技术研究中心
【基金项目】
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江苏省铝基复合材料工程研究中心研发基金资助项目(BM2003014)
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溅射靶材的利用率低,导致其成本高.以自制的纳米晶镍钴锌/二氧化硅复合铁氧体粉体为原料,冷等静压后高温烧结制备成磁控溅射复合靶材.用XRD和SEM分析靶材的物相成分和微观形貌.结果表明:靶材为尖晶石型铁氧体和二氧化硅的复合材料,表面平整,残留着微米级的气孔,靶材收缩率达14%,可承受300W左右的溅射功率.整个制备过程工艺简单,设备操作方便可行,靶材成本低.
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