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激光键合技术以其局部非接触加热、灵活性强和可控性能好的优点在电子封装、光电子封装以及MEMS封装中得到了应用。以几种激光键合技术的研究和应用为实例,分析和探讨了激光键合技术中的关键问题及其发展趋势。
激光键合技术在封装中的应用及研究进展
【摘 要】
：
激光键合技术以其局部非接触加热、灵活性强和可控性能好的优点在电子封装、光电子封装以及MEMS封装中得到了应用。以几种激光键合技术的研究和应用为实例,分析和探讨了激光
【机 构】
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哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室微连接研究室
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2007年05期
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