【摘 要】
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半导体制造用特气的解毒措施壹内俊宏在半导体制造中,使用多种具有毒性、可燃性和腐蚀性的特气。根据高压气管理法,这些气体大多数需要进行解毒处理,即使是其它的气体,根据高压气
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半导体制造用特气的解毒措施壹内俊宏在半导体制造中,使用多种具有毒性、可燃性和腐蚀性的特气。根据高压气管理法,这些气体大多数需要进行解毒处理,即使是其它的气体,根据高压气体保安协会的“特气防灾标准”也应进行解毒处理。管理法中规定了气体应进行无害化处理,...
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