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半导体制造用特气的解毒措施壹内俊宏在半导体制造中，使用多种具有毒性、可燃性和腐蚀性的特气。根据高压气管理法，这些气体大多数需要进行解毒处理，即使是其它的气体，根据高压气体保安协会的“特气防灾标准”也应进行解毒处理。管理法中规定了气体应进行无害化处理，...
半导体制造用特气的解毒措施
【摘 要】
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半导体制造用特气的解毒措施壹内俊宏在半导体制造中，使用多种具有毒性、可燃性和腐蚀性的特气。根据高压气管理法，这些气体大多数需要进行解毒处理，即使是其它的气体，根据高压气
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1997年02期
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