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1前言 所谓0.4～0.5μm时代,就DRAM而言,恰处于从64M到256M的过渡阶段.长期以来,DRAM被誉为半导体技术的"技术驱动器". ……
0.4～0.25μm时代的半导体工艺技术
【摘 要】
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1前言 所谓0.4～0.5μm时代,就DRAM而言,恰处于从64M到256M的过渡阶段.长期以来,DRAM被誉为半导体技术的"技术驱动器". ……
【出 处】
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电子与封装
【发表日期】
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2002年5期
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