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Al薄膜对硅的高刻蚀选择比使其成为硅深刻蚀过程中重要的掩蔽层材料。本文采用剥离法对Al薄膜进行图形化,得到了一组能够快速对Al薄膜图形化的工艺参数。
Al薄膜剥离法图形化的工艺研究
【摘 要】
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Al薄膜对硅的高刻蚀选择比使其成为硅深刻蚀过程中重要的掩蔽层材料。本文采用剥离法对Al薄膜进行图形化,得到了一组能够快速对Al薄膜图形化的工艺参数。
【机 构】
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西安工业大学光电微细统研究所
【出 处】
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电子制作
【发表日期】
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2013年5X期
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