高功率CO2激光器全反射镜热应力变形解析分析

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根据高功率CO2 激光器谐振腔全反射镜的工作情况建立了热传导方程 ,并给出了符合实际情况的边界条件。应用薄片分层分析法得到了全反射镜温度分布的解析结果 ,并由温度分布求得了热应力引起的全反射镜的挠度以及由此引起的反射镜表面变形后所形成的曲率半径 The heat conduction equation is established according to the working condition of the high power CO2 laser cavity total reflection mirror, and the boundary conditions are given. The analytical results of the temperature distribution of the total reflection mirror were obtained by the slice slice analysis method. The deflection of the total reflection mirror caused by the thermal stress and the radius of curvature formed by the deformation of the mirror surface were obtained from the temperature distribution
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