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试验了31P的ICP-MS法的测定条件,建立了纯铜、纯镍中微量磷的测定方法. 采用基体匹配消除基体影响,方法检出限为0.54 ng/mL,测定下限为质量分数5.4×10-4%,回收率为93.5%~102%.对于w(P)<1×10-3%和w(P)≥1×10-3%的试样,其RSD(n=5)分别为15%和6.1%.本法与光度法分析结果一致,较光度法快速、简便.