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本文介绍了一种采用I-F变换法测量SEM束流的装置,给出了I-F变换器的原理和实验线路及相应实验结果。研究表明,该装置具有直接变换误差小,无直流漂移,不变换量程,线性动态范围宽和简便实用等优点。
一种简便的扫描电镜束流测量装置
【摘 要】
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本文介绍了一种采用I-F变换法测量SEM束流的装置,给出了I-F变换器的原理和实验线路及相应实验结果。研究表明,该装置具有直接变换误差小,无直流漂移,不变换量程,线性动态范围宽和简便实用等优点。
【机 构】
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苏州大学,苏州大学苏州215006,苏州215006
【出 处】
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数据采集与处理
【发表日期】
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1992年S1期
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