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本文报导了悬桥式微流量传感器的制作以及特性测试，这种传感器采用硅微机械加工技术和硅片上制作微悬桥，微悬桥由二氧化硅，ＬＰＣＶＤ多晶硅、ＬＰＣＶＤ氮化硅三明治结构材料组成。该传感器可测量０．０１￣１００ＳＣＣＭ的气体流量，其响应时间小于１０ｍｓ，芯片尺寸为７×６ｍｍ＾２。
悬桥式微流量传感器
【摘 要】
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本文报导了悬桥式微流量传感器的制作以及特性测试，这种传感器采用硅微机械加工技术和硅片上制作微悬桥，微悬桥由二氧化硅，ＬＰＣＶＤ多晶硅、ＬＰＣＶＤ氮化硅三明治结构材料组成。该传感器可测量０．０１￣１００ＳＣＣＭ的
【机 构】
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中国科学院传感技术国家重点实验室
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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1996年3期
【基金项目】
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机械工业部“八五”科技攻关项目,国家自然科学基金
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