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X射线双晶衍射仪系统中受参考晶体分辨率等因素的影响，X射线的相干长度不超过1μm。X射线在异质外延晶体材料内衍射时，不超过相干长度范围内厚度外延层中的衍射波会产生相干叠加，否则，产生非相干叠加。分子束外延（MBE）生长了短周期InGaAs／GaAs超晶格，在其摇摆曲线中观察到显示X射线在超晶格结构中衍射相干特征的多级卫星峰及Pendellosong干涉条纹，并利用相干光理论对超晶格结构信息诸如周期及“0”级峰位置等进行了分析。