一种二次曝光散斑底片逐点分析装置

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在激光散斑计量技术中,散斑条纹间隔的计量是重要的一环。本文提出了一种散斑条纹间隔计量的装置,由于消除了衍射晕的影响与减少了二级数斑的干扰。所以测量误差比原有的方法为小。 In the laser speckle measurement technology, speckle stripe interval measurement is an important part. In this paper, a device for measuring the speckle fringe interval is proposed, which eliminates the influence of diffraction halo and reduces the interference of second-order spots. So the measurement error is smaller than the original method.
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