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介绍了国内外一些超精密技术应用在微机械加工中的方法。
超精密技术在微机械加工中的应用
【摘 要】
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介绍了国内外一些超精密技术应用在微机械加工中的方法。
【机 构】
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上海市电气自动化研究所
【出 处】
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机械制造
【发表日期】
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1996年6期
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